薄膜導(dǎo)熱測(cè)試儀利用微/納米薄膜材料導(dǎo)熱引起加熱器電信號(hào)的變化來(lái)檢測(cè)其熱導(dǎo)率。主要應(yīng)用范圍為微/納米薄膜材料的熱導(dǎo)率測(cè)量，可廣泛應(yīng)用于輔助各種功能薄膜材料的研究與開(kāi)發(fā)，其涵蓋范圍包括高等院校及科研院所、集成電路散熱材料、航空航天材料、熱電材料與器件、信息存儲(chǔ)與光電器件。
 

　　薄膜導(dǎo)熱測(cè)試儀可用于多種不同類(lèi)型和幾何尺寸材料的熱導(dǎo)率、熱擴(kuò)散系數(shù)和比熱容的測(cè)量。測(cè)試儀可以在幾分鐘的時(shí)間測(cè)量出材料的三種性能，不同的傳感器可以簡(jiǎn)單替換以適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室和現(xiàn)場(chǎng)使用。測(cè)試儀可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)工作。為了縮短測(cè)試時(shí)間和減小誤差，其軟件控制做了獨(dú)立的優(yōu)化。
 

　　薄膜導(dǎo)熱測(cè)試儀的優(yōu)點(diǎn)：
 

　　1.可測(cè)量薄膜材料的熱導(dǎo)率，尤其是微/納米薄膜材料熱導(dǎo)率的高性能測(cè)量；
 

　　2.不直接測(cè)量溫度變化，而是通過(guò)測(cè)量材料在導(dǎo)熱過(guò)程中溫度的變化轉(zhuǎn)換為的電信號(hào)的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)微/納米薄膜材料的熱導(dǎo)率，微伏級(jí)電壓值，保證測(cè)量結(jié)果的高精確度；
 

　　3.采用交流電加熱方式，同時(shí)選擇并優(yōu)化設(shè)計(jì)加熱電極的形狀與尺寸，可保證加熱均勻性及測(cè)試
 

　　4.應(yīng)用的廣泛性、準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性；
 

　　5.待測(cè)薄膜樣品材料尺寸極小，能有效減小黑體輻射引起的測(cè)量誤差；
 

　　6.可在真空及溫度可控環(huán)境下測(cè)試，有效避免因環(huán)境溫度變化和空氣熱傳導(dǎo)而引起的測(cè)量誤差；友好的軟件界面。